Із застосуванням методу рентгеноспектрального аналізу у скануючому електронному мікроскопі вивчено вплив ізотермічної витримки різної тривалості при субкритичній температурі на просторовий розподіл основних хімічних елементів в сталях X60, E36, ASTM A516-65 після остаточної нормалізації. На основі результатів статистичної обробки отриманих даних рентгеноспектрального аналізу запропонована кількісна характеристика неоднорідності просторового розподілу хімічних елементів. Було встановлено, що найбільш однорідний розподіл хімічних елементів досягається після ізотермічної витримки при 710 ± 5 оС тривалістю 1 - 2 години для сталей X60, ASTM A516-65 і 4 години - для сталі E36. Одержані результати узгоджуються із змінами мікроструктури дослідних сталей після аналогічних режимів термічної обробки.